El Puerto de carga TAS300 abre y cierra de forma automática y segura (placa de acoplamiento y el sistema por cojín de aire de la puerta), el FOUP (Puerto Unificado de Apertura Frontal), para evitar exponer las obleas al polvo.
Los componentes móviles se integran bajo la superficie de la oblea. Compatible con cualquier FOUP, se ajusta a estándares SEMI (E47.1 y E62).
Puede determinar si el Puerto Unificado de Apertura Frontal , FOUP, se carga correctamente y detectar cuándo está acoplado para limitar errores potenciales.
Un mecanismo neumático, sencillo y fiable, depara larga duración y altas prestaciones a la puerta. Admite unidad de conversión con detección de doble oblea y un kit CID (identificador de portadora).